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duv和euv技術區別
  • duv和euv技術區別

  • DUV是深紫外線(DeepUltravioletLithography),EUV是極深紫外線(ExtremeUltravioletLithography)。從製程範圍來看,DUV基本上只能做到25nm,Intel憑藉雙工作台的模式做到了10nm,但是卻無法達到10nm以下。只有EUV能滿足10nm以下的晶圓製造,並且還可以向5nm、3nm繼續延伸。...
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