mems是什麼意思
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mems即微機電系統(英語:MicroelectromechanicalSystems,縮寫為MEMS)是將微電子技術與機械工程融合到一起的一種工業技術,它的操作範圍在微米範圍內。比它更小的,在納米範圍的類似的技術被稱為納機電系統。
微機電系統(MEMS,Micro-Electro-MechanicSystem)是一種先進的製造技術平台。它是以半導體制造技術為基礎發展起來的。MEMS技術採用了半導體技術中的光刻、腐蝕、薄膜等一系列的現有技術和材料,因此從製造技術本身來講,MEMS中基本的製造技術是成熟的。但MEMS更側重於超精密機械加工,並要涉及微電子、材料、力學、化學、機械學諸多學科領域。它的學科面也擴大到微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理學的各分支。
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