![sccm是什么单位]( "sccm是什么单位")
- sccm是体积流量单位。英文全称为ｓｔａｎｄａｒｄ－ｓｔａｔｅｃｕｂｉｃｃｅｎｔｉｍｅｔｅｒｐｅｒｍｉｎｕｔｅ，意思为标况毫升每分。体积流量：气体体积流量系指单位时间输送管道中流过的气体体积。气体体积有工作状态下体积和标准状态下体积之分，它们都是指在某个压力和某个温度情况下的体积，后者是指压力为一个标准大气压、温度为０℃（或２０℃）时的气体体积。...
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![流量单位中SCCM是什么]( "流量单位中SCCM是什么")
- SCCM是质流单位，表示标准毫升每分钟，与一般常用的流量单位是不同的，常见的流量单位例如：1毫升每秒，代表单位时间流过的体积，而质流是表示单位时间通过的气体莫耳数，这种单位通常用于化学反应中，如CVD等需要精确控制原子成分比之场合。...
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