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有关amsl的知识大全

amsl工作原理
在加工芯片的过程中，光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段，将光束透射过画着线路图的掩模，经物镜补偿各种光学误差，将线路图成比例缩小后映射到硅片上，然后使用化学方法显影，得到刻在硅片上的电路图。在半导体芯片制造设备中，投资最大、也是最为关键的是光刻机，光刻机同时也...
2020-04-2329633

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