襯底在升溫和生長是怎麼個意思

襯底在升溫和生長是將襯底加熱到一定溫度進行半導體材料外延生長，完成生長過程後再冷卻取出，用以製備各種半導體器件。而襯底在升溫降溫過程中會發生翹曲，其中，如襯底翹曲在降溫恢復時為材料提供張應力，則會令半導體外延層容易產生裂痕，不利於器件製備；如在翹曲狀況在降溫恢復時為外延層提供壓應力，則外延層表面不容易產生裂紋。襯底，分為繪圖襯底和化工學襯底兩種。繪圖襯底指的是將圖片或文字充滿整個版面使其為底紋；化工學襯底最常見的為氮化物襯底材料等。