什麼是光刻膠

光刻膠是微電子技術中微細圖形加工的關鍵材料，屬於工業材料。光刻膠的技術複雜，品種較多。根據其化學反應機理和顯影原理，可分負性膠和正性膠兩類。

普通的光刻膠在成像過程中，由於存在一定的衍射、反射和散射，降低了光刻膠圖形的對比度，從而降低了圖形的分辨率。隨着曝光加工特徵尺寸的縮小，入射光的反射和散射對提高圖形分辨率的影響也越來越大。為了提高曝光系統分辨率的性能，人們正在研究在曝光光刻膠的表面覆蓋抗反射塗層的新型光刻膠技術。