- SCCM是質流單位,表示標準毫升每分鐘,與一般常用的流量單位是不同的,常見的流量單位例如:1毫升每秒,代表單位時間流過的體積,而質流是表示單位時間通過的氣體莫耳數,這種單位通常用於化學反應中,如CVD等需要精確控制原子成分比之場合。...
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- sccm是體積流量單位。英文全稱為standard-statecubiccentimeterperminute,意思為標況毫升每分。體積流量:氣體體積流量係指單位時間輸送管道中流過的氣體體積。氣體體積有工作狀態下體積和標準狀態下體積之分,它們都是指在某個壓力和某個温度情況下的體積,後者是指壓力為一個標準大氣壓、温度為0℃(或20℃)時的氣體體積。...
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