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半導體鐳射隱形晶圓切割機是什麼

半導體鐳射隱形晶圓切割機是什麼

1、該裝備通過採用特殊材料、特殊結構設計、特殊運動平臺,可以實現加工平臺在高速運動時保持高穩定性、高精度,運動速度可達500mm/S,效率遠高於國外裝置。在光學方面,根據單晶矽的光譜特性,結合工業鐳射的應用水平,採用了合適的波長、總功率、脈寬和重頻的鐳射器,最終實現了隱形切割。

2、晶圓切割是半導體封測工藝中不可或缺的關鍵工序。與傳統的切割方式相比,鐳射切割屬於非接觸式加工,可以避免對晶體矽表面造成損傷,並且具有加工精度高、加工效率高等特點,可以大幅提升晶片生產製造的質量、效率、效益。

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