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amsl工作原理
在加工芯片的過程中，光刻機通過一系列的光源能量、形狀控制手段，將光束透射過畫着線路圖的掩模，經物鏡補償各種光學誤差，將線路圖成比例縮小後映射到硅片上，然後使用化學方法顯影，得到刻在硅片上的電路圖。在半導體芯片製造設備中，投資最大、也是最為關鍵的是光刻機，光刻機同時也...
2020-04-2329633

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