硅的气态氢化物 经验 关注:1.97W次 硅的气态氢化物是甲硅烷。甲硅烷作为一种提供硅组分的气体源,可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。甲硅烷广泛应用于微电子、光电子工业, 用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层, 并且是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。 标签: 氢化物 气态 文章版权属于文章作者所有,转载请注明 https://zhizhiguan.com/zh-cn/jingyan/mkv6pe.html