特气都包括哪些气体 经验 关注:1.45W次 氦、氖、氩、氪、氙、氡等。电子特气广泛应用于半导体、微电子和相关的太阳能电池等高科技产业,或用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗,或用作载气、保护气氛等等。由于半导体和微电子技术向更高性能、更高集成度发展,科技对电子特气的纯度提出了越来越高的要求,电子特气的的净化愈加关键和重要。 标签: 特气 气体 文章版权属于文章作者所有,转载请注明 https://zhizhiguan.com/zh-cn/jingyan/4mg44k.html